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Ein Leitfaden für praktisches MEMS-Design und Prototyping von Joel A. Kubby (Englisch) Hardc

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By Joel A. Kubby. Author Joel A. Kubby. Solutions to the design challenge problems are provided online. Introduction; 2. Electrostatics; 4. Language English. Illustrations Worked examples or Exercises; 1 Tables, black and white; 50 Halftones, unspecified; 82 Line drawings, unspecified.

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