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Frontiers in Nanoscale Science of Micron/Submicron Devices: Proceedings of the N

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I. Nanotechnologies. - Submicron Technology. - 3-D Patterned III-V Semicondutor Devices Using High Energy In-Situ Focused Ion Beam Lithography and MBE. - Nanostructuring of Silicon by Laser Direct Writing.

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