Laser-Wärmmodus-Lithographie: Prinzip und Methoden (Springer-Serie in
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It introduces laser heat-mode lithography, where the resist thin films are essentially an opto-thermal response to the laser beam with changeable wavelength and are not sensitive to laser wavelength.
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EAN:9789811509421
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UPC:9789811509421
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ISBN:9789811509421
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Book Title:Laser Heat-Mode Lithography: Principle and Methods
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Item Length:23.4 cm
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