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Micromachined Circuits and Devices: Microwave to Sub-millimeter Applications by

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Micromachined Microwave Passive Circuits. - Micromachined Single-Pole-Single-Throw Switches. - Micromachined Single-Pole-Multi-Thru Switching Networks. - Micromachined Resonators and Circuits. - Micromachined Phase Shifters.

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