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Nanofabrication: Techniques and Principles by Maria Stepanova (English) Paperbac

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By Maria Stepanova, Steven Dew. 1 Introduction. - 2 Nanolithography. - Simulation of Electron Beam Exposure and Resist Processing for Nano-Patterning. - Helium Ion Lithography. - 3 Deposition at the Nanoscale.

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ISBN-13:

9783709116661
Book Title:

Nanofabrication
ISBN:

9783709116661

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