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Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography by Seo

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This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.

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ISBN-13:

9783030094553
Book Title:

Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lit
ISBN:

9783030094553

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