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Piezoelektrische Mems Resonatoren: 2017 (Mikrosysteme und Nanosysteme) [gebunden]

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AIN Thin Film Processing and Basic Properties. - Lead Zirconate Titanate (PZT) for M/NEMS. - Gallium Nitride for M/NEMS. - Lithium Niobate for M/NEMS Resonators. - Flexural Piezoelectric Resonators.

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