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Silicon Anodization as a Structuring Technique Alexey Ivanov

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Titel: Silicon Anodization as a Structuring Technique, Untertitel: Literature Review, Modeling and Experiments, Einband: Taschenbuch, Autor: Alexey Ivanov, Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden, Springer Fachmedien Wiesbaden, Sprache: Englisch, Seiten: 348, Maße: 210x148x19 mm, Gewicht: 451 g, Verkäufer: buch-mimpf, Schlagworte: Mathematik / Technik, Ingenieurwissenschaften, Handwerk Nanotechnologie Technologie / Nanotechnologie Dynamik (physikalisch) / Thermodynamik Thermodynamik Wärmelehre / Thermodynamik FEM simulation Microsystems electrochemical etching electropolishing microstructuring sacrificial layer.

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