Silizium-Sensoren und -Aktoren: Die Feynman-Roadmap von Benedetto Vigna
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Electronic Interfaces for actuators. The future of sensor and actuators. Silicon as Sensor Material. Dry silicon etch. Inertial sensors. Pressure Sensors. Electronic sensors front-end. Wet Etch and Cleaning.
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EAN:9783030801342
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UPC:9783030801342
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ISBN:9783030801342
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Book Title:Silicon Sensors and Actuators: The Feynman Roadmap
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Item Length:23.4 cm
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Item Weight:1.68 kg
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