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Silicon Sensors and Actuators: The Feynman Roadmap by Benedetto Vigna Paperback

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By Benedetto Vigna, Paolo Ferrari, Flavio Francesco Villa, Ernesto Lasalandra, Sarah Zerbini. Silicon as Sensor Material. Thin Film Deposition. Dry silicon etch. HF Release. Galvanic growth. Wet Etch and Cleaning.

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Format:

Paperback
ISBN-13:

9783030801373
Author:

Benedetto Vigna, Paolo Ferrari, Flavio Francesco Villa
Book Title:

Silicon Sensors and Actuators
ISBN:

9783030801373

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