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VLSI Herstellungsprinzipien: Silizium- und Galliumarsenid von Sorab K. Ghandhi (E

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By Sorab K. Ghandhi. Author Sorab K. Ghandhi. 4.5 Impurity Behavior: Gallium Arsenide 197. 5.5 VPE Processes for Gallium Arsenide 313. Subtitle Silicon and Gallium Arsenide. 7.3 Thermal Oxidation of Gallium Arsenide 485.

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ISBN-13:

9780471580058
Book Title:

VLSI Fabrication Principles
ISBN:

9780471580058

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