Halbleiterbauelement und Fehleranalyse: Mit Photonenemissionsmikroskopie von W
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The diminishing size and greater complexity of modern semiconductor integrated circuits poses new challenges in fault detection. Photon Emission Microscopy (PEM) is a physical fault localisation technique used for analysing IC failures.
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ISBN-13:9780471492405
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Book Title:Semiconductor Device and Failure Analysis
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ISBN:9780471492405
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